Esafluoro-1,3-butadiene

LTemplate:'esafluoro-1,3-butadiene è un alogenuro appartenente alla classe degli alcheni. A temperatura ambiente si presenta come un gas tossico inodore, incolore e infiammabile. Viene usato come agente chimico nel plasma etching di circuiti integrati. I principali paesi produttori di questo composto sono l'Italia e il Giappone.

Usi

L'esafluoro-1,3-butadiene viene principalmente usato come gas di etching per la realizzazione di semiconduttori. L'uso di questo gas consente di realizzare features di 90nm con un aspect-ratio circa quattro volte e mezza più alto rispetto all'uso di tetrafluoruro di carbonio. L'esafluoro-1,3-butadiene non contiene cloro quindi non ha alcun Ozone Depletion Potentiale ha un basso (<1 ITH 100y) Global Warming Potential a causa dell'elevata velocità di degradazione nell'atmosfera.

Produzione

Di recente molte compagnie hanno sviluppato tecnologie per produrre l'esafluoro-1,3-butadiene (Asahi Glass, Daikin, NITs MEdkhim, PCBU Services) tuttavia il mercato è dominato solo da due gruppi industriali, l'italiana Ausimont e la giapponese Kanto electrification.

Può essere prodotto secondo diversi metodi chimici:

• Dealogenazione dell'1,4-diiodo-ottafluorobutano

$\mathrm{I}(\mathrm{C}\mathrm{F}{\phantom{A}}_2){\phantom{A}}_4\mathrm{I}+\mathrm{Z}\mathrm{n}⟶\mathrm{C}{\phantom{A}}_4\mathrm{F}{\phantom{A}}_6+\mathrm{Z}\mathrm{n}\mathrm{I}{\phantom{A}}_2$

• Reazione fra 1,4-dibromo-ottafluorobutano ed etil-magnesio-bromuro:

$\mathrm{B}\mathrm{r}(\mathrm{C}\mathrm{F}{\phantom{A}}_2){\phantom{A}}_4\mathrm{B}\mathrm{r}+\mathrm{C}{\phantom{A}}_2\mathrm{H}{\phantom{A}}_5\mathrm{M}\mathrm{g}\mathrm{B}\mathrm{r}⟶\mathrm{C}{\phantom{A}}_4\mathrm{F}{\phantom{A}}_6+\mathrm{C}{\phantom{A}}_5\mathrm{H}{\phantom{A}}_5\mathrm{B}\mathrm{r}+\mathrm{M}\mathrm{g}\mathrm{B}\mathrm{r}{\phantom{A}}_2$

• Declorurazione dell'1,2,3,4-tetracloro-esafluorobutano:

$\mathrm{C}{\phantom{A}}_4\mathrm{F}{\phantom{A}}_6\mathrm{C}\mathrm{l}{\phantom{A}}_4+\mathrm{Z}\mathrm{n}⟶\mathrm{C}{\phantom{A}}_4\mathrm{F}{\phantom{A}}_6+\mathrm{Z}\mathrm{n}\mathrm{C}\mathrm{l}{\phantom{A}}_2$